براہ راست بانڈڈ کاپر سیرامک ​​سبسٹریٹ (ڈی بی سی) کا تعارف۔

ڈی بی سی سیرامک ​​سبسٹریٹ عمل تانبے اور سیرامکس کے مابین آکسیجن عناصر کو شامل کرنا ہے ، 1065 ~ 1083 ° C کے درجہ حرارت پر Cu-O eutectic مائع حاصل کرنا ہے ، اور پھر انٹرمیڈیٹ مرحلے (Cualo2 یا Qual2O4) کو حاصل کرنے کے لئے رد عمل ظاہر کرتا ہے ، تاکہ امتزاج کو محسوس کیا جاسکے۔ سی یو پلیٹ اور سیرامک ​​سبسٹریٹ کیمیکل میٹالرجی کی ، اور آخر کار لتھوگرافی ٹکنالوجی کے ذریعے پیٹرن کی تیاری کے حصول کے لئے ، ایک سرکٹ تشکیل دیتے ہیں۔

سیرامک ​​پی سی بی سبسٹریٹ کو 3 پرتوں میں تقسیم کیا گیا ہے ، اور درمیان میں موصل مواد AL2O3 یا ALN ہے۔ AL2O3 کی تھرمل چالکتا عام طور پر 24 W/(M · K) ہوتی ہے ، اور ALN کی تھرمل چالکتا 170 W/(M · K) ہے۔ ڈی بی سی سیرامک ​​سبسٹریٹ کی تھرمل توسیع کا قابلیت AL2O3/ALN کی طرح ہے ، جو ایل ای ڈی ایپیٹیکسیل مادے کی تھرمل توسیع کے گتانک کے بہت قریب ہے ، جو چپ اور خالی سیرامک ​​کے مابین پیدا ہونے والے تھرمل تناؤ کو نمایاں طور پر کم کرسکتا ہے۔ سبسٹریٹ

میرٹ :

کیونکہ تانبے کے ورق میں اچھی برقی چالکتا اور تھرمل چالکتا ہے ، اور ایلومینا CU-AL2O3-CU کمپلیکس کی توسیع کو مؤثر طریقے سے کنٹرول کرسکتی ہے ، تاکہ ڈی بی سی سبسٹریٹ میں الومینا کی طرح تھرمل توسیع کا ایک قابلیت ہو ، ڈی بی سی کے اچھ of ے کے فوائد ہیں تھرمل چالکتا ، مضبوط موصلیت اور اعلی وشوسنییتا ، اور آئی جی بی ٹی ، ایل ڈی اور سی پی وی پیکیجنگ میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتا رہا ہے۔ خاص طور پر موٹی تانبے کی ورق (100 ~ 600μm) کی وجہ سے ، اس کے IGBT اور LD پیکیجنگ کے میدان میں واضح فوائد ہیں۔

ناکافی :

(1) تیاری کا عمل اعلی درجہ حرارت (1065 ° C) پر CU اور AL2O3 کے مابین eutectic رد عمل کا استعمال کرتا ہے ، جس میں اعلی سامان اور عمل پر قابو پانے کی ضرورت ہوتی ہے ، جس سے سبسٹریٹ کی قیمت زیادہ ہوتی ہے۔

(2) AL2O3 اور CU پرتوں کے مابین مائکروپورس کی آسان نسل کی وجہ سے ، مصنوعات کی تھرمل جھٹکا مزاحمت کم ہوگئی ہے ، اور یہ کوتاہیاں ڈی بی سی سبسٹریٹس کے فروغ کی رکاوٹ بن چکی ہیں۔

ڈی بی سی سبسٹریٹ کی تیاری کے عمل میں ، یوٹیکٹک درجہ حرارت اور آکسیجن کے مواد کو سختی سے کنٹرول کرنے کی ضرورت ہے ، اور آکسیکرن کا وقت اور آکسیکرن کا درجہ حرارت دو سب سے اہم پیرامیٹرز ہیں۔ تانبے کی ورق سے پہلے سے آکسائڈائزڈ ہونے کے بعد ، بانڈنگ انٹرفیس اونچی پابند طاقت کے ساتھ ، گیلے AL2O3 سیرامک ​​اور تانبے کے ورق کو گیلے کرنے کے لئے کافی ککسائی مرحلہ تشکیل دے سکتا ہے۔ اگر تانبے کی ورق پہلے سے آکسائڈائزڈ نہیں ہے تو ، ککسائی ویٹیبلٹی ناقص ہے ، اور بڑی تعداد میں سوراخ اور نقائص بانڈنگ انٹرفیس میں رہیں گے ، جس سے بانڈنگ کی طاقت اور تھرمل چالکتا کو کم کیا جائے گا۔ ALN سیرامکس کا استعمال کرتے ہوئے ڈی بی سی سبسٹریٹس کی تیاری کے ل it ، یہ بھی ضروری ہے کہ سیرامک ​​سبسٹریٹس کو پہلے سے آکسائڈائز کیا جائے ، AL2O3 فلمیں تشکیل دیں ، اور پھر eutectic رد عمل کے لئے تانبے کے ورقوں کے ساتھ رد عمل ظاہر کریں۔